拆开一台刻蚀机，你会看到这么多陶瓷部件！
发布时间：2023-05-14 07:21:29
来源：面包芯语
【资料图】
什么是刻蚀机？先简单说一下名称，大家叫“刻蚀机”和“蚀刻机”都是正确。国内两家重要的厂家中微半导体和北方华创用的都是“刻蚀机”。
等离子体刻蚀设备的结构示意图
刻蚀机腔体
图源：NGK
聚焦环
绝缘环
© 滤波器 微信公众号
【资料图】
什么是刻蚀机？先简单说一下名称，大家叫“刻蚀机”和“蚀刻机”都是正确。国内两家重要的厂家中微半导体和北方华创用的都是“刻蚀机”。
等离子体刻蚀设备的结构示意图
刻蚀机腔体
图源：NGK
聚焦环
绝缘环
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